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[請(qǐng)教]取樣器的清洗?多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中三氯氫硅和四氯化硅取樣分析后，對(duì)取樣器的清洗非常麻煩。
[請(qǐng)教]取樣器的清洗?多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中三氯氫硅和四氯化硅取樣分析后，對(duì)取樣器的清洗非常麻煩。
依次用氮?dú)狻⑺?0%的氫氧化鈉、水、高純水、高純氮?dú)馇逑创祾摺?BR>也可以設(shè)計(jì)一個(gè)清洗吹掃裝置。
一般都是使用密閉的取樣器，最好不要拿水清洗，如果有殘余的硅烷的話(huà)會(huì)劇烈反應(yīng)的。可以先用氮?dú)獯祾撸缓笥秘?fù)壓裝置吹掃，然后就是直接密閉起來(lái)！取樣瓶都限定使用的，放樣完就可以密封起來(lái)。
以上只是限于一般生產(chǎn)的取樣器產(chǎn)品，現(xiàn)在取樣器的技術(shù)都很成熟，技術(shù)水平也相對(duì)的提高，對(duì)于取樣器的生產(chǎn)，都相接使用取樣完畢直接自動(dòng)吹掃，根本不用再清洗的。